Pusvadītāju ražošana ir rūpniecisks process, kam nepieciešama ārkārtēja precizitāte, paļaujoties uz īpaši trauku ūdeni, kas aptver serdes stadijas, piemēram, vafeļu tīrīšanu, fotolitogrāfiju, kodināšanu un ķīmisko mehānisko planarizāciju (CMP) . Augstas tīrības ūdens sistēmas mikroelektronikas nozarei jāatbilst stingriem kritērijiem, kas ir vairāk nekā 18 {{.. Ogleklis (TOC) mazāks vai vienāds ar 1 ppb . Jebkuri atlikušie joni vai daļiņas var samazināt mikroshēmas ražu. Piesaistot savu globāli vadošo keramikas membrānas tehnoloģiju un visu membrānas procesu, Taihe vides aizsardzības nodrošināšanaes ļoti stabili risinājumipusvadītāju reversās osmozes sistēmaS, efektīvi atbalstot ūdens kvalitātes drošību vietējā pusvadītāju piegādes ķēdēs .
Visu membrānas procesa tehnoloģiskais sasniegums
Taihe's core technology-"All-Membrane Process for Treating Reverse Osmosis Concentrate and Circulating Wastewater"-was certified by the China Membrane Industry Association as "internationally advanced level" . This technology employs specialized tubular ceramic ultrafiltration membrane (GM) units to replace three conventional pretreatment steps ("alkali precipitation + sand filtration + organic ultrafiltrācija ") Vienā procesā, kas ievērojami vienkāršo darbplūsmas, vienlaikus uzlabojot antifulācijas iespējas . keramikas membrānas, kas izgatavotas no nanokompozītiem, izstādē piesārņojuma pretestību, spēcīgu sārmu toleranci un augstu plūsmu . ultrapulcture Ūdens, kas nodrošina operatīvo izmaksu, samazina operatīvos līdzekļus, kas nodrošina operatīvo operāciju, kas nodrošina operatīvo operāciju, kas nodrošina operatīvo operāciju, kas darbojas ar operāciju operatīvajiem līdzekļiem. Cietība .
Lietojumprogrammas aizsardzības pasākumi galvenajos procesa posmos
- Vafeļu tīrīšana un CMP:Ultra-lure Ūdens reversās osmozes sistēmai pilnībā jānoņem daļiņas un metāla joni, lai novērstu vafeļu virsmas defektus {. Taihe keramikas membrānas pirmapstrāde efektīvi pārtver daļiņas, kas lielākas vai vienādas ar 0 .} 1 μm, nodrošinot zemu SDI (silta denētikas indeksu). Stabila RO membrānas darbība.
- Fotorezistu skalošana:Fotolitogrāfija ir ļoti jutīga pret TOC . TAIHE sistēmu sinerģizē keramikas membrānas ar ultravioleto sterilizāciju, lai kontrolētu TOC 1 ppb laikā, izpildot "nulles pielaides" prasību organiskiem līdzekļiem fotorezistra skalošanas .} ..
- kodināšanas un CMP notekūdeņu atkārtota izmantošana:For high-turbidity CMP wastewater, its ceramic membrane units demonstrate strong impact resistance, treating high-salinity wastewater with hardness >1200 mg/L ar 95% atveseļošanās ātrumu, krasi samazinot saldūdens patēriņu .
Inteliģentācija un zaļā zema oglekļa satura prakse
TAIHE integrē DCS (sadalītās vadības sistēmas) liela mēroga integrētās vadības sistēmas ultrapulārajā ūdens attīrīšanas sistēmā, ļaujot reāllaika uzraudzīt ūdens kvalitātes parametrus un enerģijas optimizāciju .} Tā "visa mēroga process, kas paredzēts, lai atjaunotu ūdeni, kas atkārtoti izmantoja oglekļa emisijas, izmantojot plūsmu. pusvadītāju sektors .
Secinājums
Kā uzlaboti procesi (e . g ., 5nm, 3nm) saasina ūdens kvalitātes prasības,pusvadītāju reversās osmozes sistēmas must continuously push purity boundaries. Building on its "internationally advanced" ceramic membrane technology, Taihe is accelerating R&D in high-flux ceramic ultrafiltration membranes for electronic high-purity water applications, further simplifying pretreatment and enhancing product water efficiency . Future innovations will empower China's semiconductor supply chain, Uzticamāku, zemāku oglekļa tehnoloģiju etalonu izveidošana augstas tīrības līmeņa ūdens sistēmām mikroelektronikas nozarei .